1、空氣中的潔凈粒子濃度;
2、氣流的風速和單向性(對單向氣流而言);
3、不同潔凈度級別的潔凈室之間和潔凈室與普通房間之間的壓差;
4、最終過濾器的整體性;
5、潔凈室經(jīng)污染后空氣潔凈度的自凈時間;
6、空氣溫度和濕度
7、潔凈室的密閉性;
8、潔凈室表面的潔凈度;
9、靜電荷和離子發(fā)散;
10、空氣中和表面的微生物污染;
11、空氣中和工藝的分子污染
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參數(shù)